产品详情
  • 产品名称:快速升温炉 红外灯管快速快速升温炉 红外灯管快速降温升温炉 昆山管式退火炉

  • 产品型号:TF1200-120-SL-RTP
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简单介绍:
开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,方便可靠,炉管外径120mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热,升温速度快达30℃/S,炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
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